“超越摩尔”研发中试线

上海是我国半导体产业的基地,也是手机、汽车等产业重要的企业聚集地,这些有利条件为MEMS产业提供理想的发展环境和空间。在此背景下,上海微技术工研院与国际领先的晶圆厂密切合作,构建起了覆盖8寸的“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线,提供从研发到量产的全程服务,打造完整的“超越摩尔”产业链,推动“超越摩尔”技术和物联网创新应用的快速发展。

研发中试线专注于“超越摩尔”产品与技术,拥有近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房,可以全面开展表面、体、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产。 研发线根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备,并开发完整、可靠的工艺,使MtM产品和技术能够无缝地实现中试和量产,为国内外客户提供优秀的全程服务。研发线的技术路线与设备选型参照了国内外主流代工厂的配置,提升了研发的成功率,有助于实现研发到量产无缝衔接。

研发中试线可承担工艺开发,产品开发,小批量生产,技术和工艺培训,设备验证,机台租用,IP开发和IP库建立等业务,为MEMS及其它“超越摩尔”技术从研发到量产搭建起高效的平台。

SITRI's Micro-fabrication Line