研发设施

上海微技术工研院构建覆盖8-12寸的“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线,专注于“超越摩尔”产品、技术,为国内外相关产业公司提供从研发到量产的全程服务,可以全面开展表面、体、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产,该产线为“超越摩尔”和3D集成的一部分,可在工研所生态系统环境中实现“超越摩尔”开发的综合集成和大批量生产的快速过渡。

同时,工研院建立了世界先进的工程测试分析平台。拥有高分辨率X射线实时呈像仪+CT断层扫描仪,光学显微镜+扫描电动平台,扫描电子显微镜+能谱仪,红外光显微镜,抛光机,氩离子切割仪,反应离子刻蚀机,示波器,探针台,测试机等设备,研究了MEMS芯片去封装、去钝化层、染色及平面与纵向制备等样品预处理技术,版图连续拍照、拼接,芯片识别,参数提取、电路提取等逆向芯片分析技术,建立了MEMS/ASIC的晶圆测试、封装测试等测试能力,可为研发提供MEMS传感器及配套ASIC测试和验证,以及完整的测试解决方案和逆向分析等服务。

上海微技术工研院现有两千多平方米的实验室场地,并配套了相应的电气设施,完全满足各类芯片性能测试对场地的需求。