生物技术

上海微技术工研院生物技术团队的将微电子、微流体和MEMS技术应用于生物系统中的各种应用,包括即时诊断、生物监测和生物医疗研究。工研院的生物技术基于其独一无二的CMOS MEMS技术以及获得全球多家公司许可的微流体技术,这些技术有着二十年的研发历程。


研发能力与服务

  • CMOS MEMS设计与制造
  • 硅和高聚物集成MEMS结构
  • 热发泡执行器设计,带主动控制和感测功能
  • 射流卡盘设计,与MEMS芯片集成
  • 射流形成与优化
  • 微流体系统设计、集成与制造

应用领域:

  • 生物配药:皮升配药和生物材料配药
  • 给药:数字吸入器和植入泵
  • 即时诊断:层析和生物传感器
  • 生物医药研发的微流体:液体输入/输出接口和片上实验室(LOC)

创新研发

  • 兼容CMOS的MEMS工艺
  • PINP:晶圆级工艺,用于长窄型微流体通道
  • 片上闭环温度控制,以准确控制流量
  • 热发泡泵:支持低成本片上执行
  • 喷墨型喷射器,可控制数字给药装置的滴量(3-5μm)
  • 灵活的射流系统流体化学与集成
  • 共性、模块性和可扩展性

工研院提供了将概念迅速转化为原型的服务,这种转化方法的周转时间短、制造成本效益高,能无缝转化为大规模生产。


技术服务

为了向整个生物解决方案开发周期提供支持,工研院提供了以下服务:

  • 产品设计与模拟咨询
  • 可制造性评估
  • 面向制造的工艺设计和集成
  • 验收和检验器件性能
  • 根据应用需求和器件性能,制定器件规范

完整的系统支持

针对面向P.O.C.(即时诊断)和诊断应用的纯半导体芯片或全集成半导体上微流体器件,提供设计、制造和测试的端到端服务。


研发计划

  • 第I阶段:器件设计与可制造性评估
  • 第II阶段:面向原型制造的工艺集成方案和制造工艺开发
  • 第III阶段:验收和检验器件各功能;进行特性描述,特性描述将决定规定的器件规范

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