工研院介绍

 

上海微技术工业研究院(SITRI)成立于2013年,由上海市科委、嘉定区和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立,是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台,为创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务。目前,SITRI已与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系,实现创新成果的高效率产业化,加速“超越摩尔”产业生态系统建立

SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线,提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术,为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务,实现从研发到小批量生产无缝对接

截至目前,SITRI已累计申请专利866项,其中发明专利686项,PCT(国际专利)专利55项。以8英寸研发中试线为服务基础,以技术研发和工艺提升为服务宗旨,以知识产权为主要服务成果,SITRI积极推进技术转移和中试孵化,截至目前,已培育孵化出21家优质企业,累计估值超100亿元。

SITRI立足上海、辐射长三角、面向全国,已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。

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