SITRI Café Day之MEMS协同创新论坛成功举办

SITRI Café Day之MEMS协同创新论坛成功举办

SITRI Café Day之MEMS协同创新论坛成功举办

 

2020年5月8日,由上海微技术工业研究院(SITRI)主办的SITRI Café Day & 人才联谊会 — MEMS协同创新论坛如期举办,中科院上海微系统所传感器技术实验室研究员李昕欣教授以“From MEMS Towards Giant Integration: Multi-varieties and Standardization Long-term Coexist”为题,为大家作了专题报告,同时SITRI副总经理王诗男博士就“SITRI 8寸超越摩尔研发中试平台”作了专题分享。

SITRI副总经理冯黎女士在开场致辞中,简单回顾了以往SITRI Café Day系列活动的举办情况,并对2020年即将开展的相关活动作了介绍。

SITRI副总经理 冯黎女士

SITRI高级副总经理古元冬博士介绍此次论坛的举办目的和演讲嘉宾。

SITRI高级副总经理 古元冬博士

在“From MEMS Towards Giant Integration: Multi-varieties and Standardization Long-term Coexist”专题报告中,中科院上海微系统所传感器技术实验室研究员李昕欣教授首先介绍了超越摩尔的概念以及MEMS特殊化的研究和生产的状况,如在研发中起到的低成本作用,油水混合芯片的独特开发设计以及MEMS微铸造技术等。同时还重点介绍了李教授目前独创的MEMS微创手术产品化技术,这种技术开发出的尺寸更小,成本更低的产品,可用于流量传感器、压力传感器、红外温度传感器、PM2.5气体传感器、麦克风、加速度计及生物和医疗等相关产品,希望这种创新技术可以给工业界带来开创性的工艺和产品。同时,李教授也非常希望与SITRI 中试线实现良好互动,把先进的技术应用在产品上。

中科院上海微系统所传感器技术实验室研究员  李昕欣教授

SITRI副总经理王诗男博士对8寸超越摩尔研发中试平台(以下简称“8寸线”)进行了介绍,王博士分别从8寸线概况、工艺能力、MEMS线的问题与提案三个方面对8寸线进行详细的介绍和梳理。目前,SITRI 8寸线已具备硅光子、AlN、MEMS等技术平台能力,同时采用标准8寸量产线体系进行管理运营,硅光平台偏CMOS前道工艺,拥有成熟的工艺集成、硅光子器件库,AlN平台引进国际主流的AlN薄膜沉积和刻蚀设备,可用于生产麦克风、pMUT、流量计、指纹传感器、4G/5G BAW Filter等相关产品。MEMS平台拥有70多台关键设备,可以进行光刻、薄膜、刻蚀、离子注入、基板键合等关键工艺,同时还开发出硅的表面、体、3D微纳加工、3D集成、干膜、PI、释放层等特殊工艺。已经开发的产品有红外温度传感器、微镜、微流控、生物芯片等。截止2019年底,8寸线已经开发产品116种。王博士还简单介绍了8寸线在科技“战疫”、抢制温度传感器芯片等工作中所做的努力,并在“MEMS线的问题与提案”中,把目前8寸线存在的机台单一、部分设备老旧及综合实力有待提升等问题作了陈述,希望未来从高效率、低成本、有绝活、与量产线衔接、产学研有机融合等方面打造8寸线的核心竞争力!

SITRI副总经理 王诗男博士

在Q&A环节,演讲嘉宾与在场的SITRI科研技术人员进行了深入的技术沟通交流,并针对各自关心的研究问题表达了自己的观点和看法。

SITRI长期与中科院微系统所、新微集团开展三方合作,以“三位一体”的协同创新体系为前提,通过共享研发、合作开发、政府项目、服务入股等多种途径,与产业客户开展项目合作,推动产业创新