测试服务

MEMS晶圆级测试

随着智能终端产品的广泛应用,MEMS传感器的市场需求也越来越大,为了提高良率,MEMS晶圆阶段的测试变得越来越重要,尤其是MEMS晶圆级动态参数的测试需求越来越急迫。上海微技术工研院(SITRI)引进STI3000动态晶圆级测试系统,通过一个驱动电压在晶圆上驱动MEMS移动,从而测量由此产生的相关各种特性。配合8英寸自动探针台,可测试4/6/8英寸MEMS晶圆。

可测MEMS类型:

  • 加速度计
  • 陀螺仪
  • 麦克风
  • 压力传感器

可测参数:

  • 漏电流、电容等静态参数
  • 谐振频率、品质因素、阻尼系数、正交误差等动态参数

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MEMS产品测试

SITRI提供完整的MEMS产品测试服务,包括测试方案制定、程序开发、硬件设计和批量测试等服务,可测封装尺寸范围1mm*1mm~5mm*5mm。

可测MEMS类型:

  • 加速度计
  • 陀螺仪
  • 湿度传感器
  • 压力传感器
  • 磁传感器
  • 温度传感器

可测参数:

  • 输出电压
  • 电流功耗
  • 噪声
  • 灵敏度
  • 零位输出
  • 线性度
  • 灵敏度温飘
  • 零位温飘
  • 线性度温飘

MEMS Final Testing from SITRI   MEMS Testing Services from SITRI


模拟及混合信号测试

SITRI支持模拟信号及混合信号集成电路产品各种性能参数测试。测试程序开放式可供编译,灵活多变的测试电路,高精度多工位测试,可满足产品研发及工程量产需求。

可测器件类型:

  • LED驱动
  • 电源管理IC
  • 模拟开关
  • 运算放大器
  • 锂电池保护

可测参数:

工作电压,工作电流,静态电流,参考电压,参考电流,导通电阻,阈值电压,工作频率,响应时间,开关时间,失调电压,增益。

Analog Signal Test Sample


功率器件测试

SITRI可测试集成化的功率器件的所有静态及动态参数。友好简单的测试程序操作界面,无需额外开发,测试结果及测试波形曲线实时反馈,测试规范遵循国际标准IEC-60747-9。

可测功率器件类型:

  • 单芯片MOSFET
  • 单芯片IGBT
  • 单芯片二极管
  • IGBT模块

可测量的参数:

  • 栅极开启电压,饱和压降,漏电流,续流二极管正向电压等静态参数;
  • 单脉冲反偏安全工作区,双脉冲反偏安全工作区,短路安全工作区,栅电荷,开启时间,关断时间,续流二极管恢复电荷等动态参数。

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