8英寸“超越摩尔”研发中试线

上海是我国半导体产业的基地,也是手机、汽车等产业重要的企业聚集地,这些有利条件为MEMS产业提供理想的发展环境和空间。在此背景下,上海微技术工研院(SITRI)与国际领先的晶圆厂密切合作,构建起了覆盖8英寸的“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线,提供从研发到量产的全程服务,打造完整的“超越摩尔”产业链,推动“超越摩尔”技术和物联网创新应用的快速发展。

SITRI的工艺研发平台以“超越摩尔”8寸研发中试线为基础,该线作为国内首条、世界领先的工艺研发平台已于2017年11月正式启动运行,技术能力覆盖CMOS先进工艺及MEMS特殊工艺,可进行各种MEMS产品的研发和小批量生产。8寸线近5000平方米的洁净室,可以全面开展表面硅、体硅、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产;具有MEMS、压电AlN、硅光、生物微流控等相关工艺的生产和评价设备,大幅提升产品研发的成功率,实现产品从研发到量产的无缝衔接,从而打造MEMS及其它“超越摩尔”技术从研发到量产的高效平台;同时,SITRI积极在设备与材料领域开展战略布局,打造设备材料研发合作平台。目前,8寸研发中试线已完成了ISO9001质量体系认证、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系,并建立了完善的客户IP信息保护规范。在与客户的产品合作开发模式上,通过联合研发,工艺整合与开发,生产对接,项目培育等多种创新形式,缩短研发与制造周期,加快产品迭代,推动科技成果的转化与产业化。

 


图:共性技术平台

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