【员工风采·年度之星】心系刻蚀勤钻研 攻坚克难显芳华

仰望星空常追梦,

脚踏实地勤奋斗。

前进的征程,不忘初心,

方显“态度”之本色。

工作的道路,精益求精,

更显“责任”之高能。

在SITRI,诞生了许多优秀的先锋工作者。他们似暗燃星火,若泛泛萤光,亮无垠天际,穿巍巍山河。鲜花和掌声送给每一位在SITRI奋斗的优秀工作者。

简介:刘国峰,优秀员工金奖获得者,入职SITRI3年多,现担任SITRI“超越摩尔”8英寸研发中试线(简称“8寸线”)刻蚀设备工程师一职。主要负责等离子刻蚀设备的日常维护保养,异常问题的处理,设备改造升级和新设备的选型,及SOP的建立。任职期间,他工作认真负责,任劳任怨,特别在2020年2-3月新冠疫情严重时期出勤率名列前茅,一人肩负3种责任,作出了重要贡献。

团队合影

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学以致用,做冲锋战士

新冠疫情期间,SITRI积极响应国家号召,提前复工复产,刘国峰第一时间回到产线,与同事并肩作战。温度传感器芯片虽然尺寸不足2毫米,但需要120多个步骤、38台主力设备来制作,其中最关键也最耗时间的一个步骤,就是形成芯片背部空腔的深硅刻蚀工艺(简称“背腔刻蚀工艺”)。此前,8寸线用在这一工艺上的设备只有一台,背腔刻蚀工艺成了温度传感器芯片生产的最大瓶颈。为此,SITRI马上启用了另一台设备。但这台设备没有进行过背腔刻蚀工艺的开发,无法立即满足温度传感器芯片苛刻的工艺要求。而由于疫情关系,设备厂商无法到厂帮助调试设备,工艺工程师也因隔离无法及时到岗调试工艺。这种情况下,刘国峰一人肩负3种责任:设备的复机/维护、工艺调试和测机/跑货(操作员人力短缺)等,运用自己掌握的设备硬件及工艺知识,在工艺工程师远程协助下,完成ALN刻蚀机台深硅工艺的开发工作,为疫情芯片产能翻番起了关键作用。

好学不倦、持续精进

团队领头羊担当,刘国峰主动带动其他设备工程师学习深硅刻蚀原理,使机台脱离瓶颈。他不满足于掌握一台机台原理,又自主学习其他干法刻蚀工艺机台,在完成本职工作后,还不断加强专业知识学习,合作完成实用新型及专利一件,工作上精益求精。

我与SITRI一同成长

一个人的优秀,离不开团队,更离不开平台。对内,SITRI为优秀的员工提供了展示平台;对外,SITRI更是一个创新创业的载体和策源地。在采访中,刘国峰谈到,很荣幸加入到8寸线MEMS平台。作为国内首条工艺研发平台,8寸线目前已建成5大技术工艺平台,可提供MEMS工艺、AlN、硅光、智能微流控和BTIT等“超越摩尔”核心技术工艺。通过8寸线平台可为多家客户提供研发和中试服务,帮助企业缩短研发周期,加快产品迭代。能成为平台中的一员,他觉得是自己职业生涯中一道亮丽的风采。